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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SOI WAFER
摘要
申请公布号 KR100195232(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19960034521 申请日期 1996.08.20
申请人 FAIRCHILD KOREA SEMICONDUCTOR LTD. 发明人 CHA, KI-HO;LEE, BYONG-HUN
分类号 H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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