发明名称 WET ETCHING PROCESS APPARATUS OF SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 KR100196998(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19960006619 申请日期 1996.03.13
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 HAN, SUK-BIN
分类号 H01L21/304;B08B3/10;H01L21/00;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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