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发明名称 A FILAMENT OF ION GENERATION
摘要
申请公布号 KR200149913(Y1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19960035372U 申请日期 1996.10.25
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 HONG, DAE-WON
分类号 H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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