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发明名称
FABRICATION PROCESS OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR100192017(B1)
申请公布日期
1999.06.15
申请号
KR19950018950
申请日期
1995.06.30
申请人
NIPPON ELECTRIC K.K.
发明人
KODAMA, NORIYUKI
分类号
H01L21/768;H01L21/316;H01L23/522;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/768
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
地址
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