发明名称 FABRICATION PROCESS OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100192017(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19950018950 申请日期 1995.06.30
申请人 NIPPON ELECTRIC K.K. 发明人 KODAMA, NORIYUKI
分类号 H01L21/768;H01L21/316;H01L23/522;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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