发明名称 METHOD OF FORMING AN ELEMENT ISOLATION FILM OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100197651(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19950039693 申请日期 1995.11.03
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 KIM, YONG-BOK;KWON, SEONG-GU;CHO, PEONG-JIN;KIM, JONG-CHOL
分类号 H01L21/316;H01L21/32;H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
地址