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发明名称 CONCENTRATION CONTROLLING APPARATUS OF MULTI-COMPONENT PLANTING SOLUTION
摘要
申请公布号 KR100201377(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19950037514 申请日期 1995.10.27
申请人 ACQUTEK SEMICONDUCTOR & TECHNOLOGY CO., LTD. 发明人 HWANG, KIL-NAM;CHO, KUN-CHANG
分类号 C25D21/14;C23C18/16;H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 C25D21/14
代理机构 代理人
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