发明名称 BURIED INTERCONNECTION STRUCTURE OF SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 KR100200758(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19960055860 申请日期 1996.11.20
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 KIM, IN-CHEOL;LEE, WON-SEONG
分类号 H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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