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发明名称 ELECTROCHEMICAL STATIC CAPACITANCE-VOLTAGE MEASURING METHOD
摘要
申请公布号 KR100197658(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19950066136 申请日期 1995.12.29
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 KANG, BYONG-KWON;KIM, TAE-JIN;KIM, MYONG-SUK;JO, KYU-SOK;I, SU-WON
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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