| 发明名称 |
SYSTEM FOR DETECTING SURFACE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100195562(B1) |
申请公布日期 |
1999.06.15 |
| 申请号 |
KR19960007472 |
申请日期 |
1996.03.16 |
| 申请人 |
NEC CORPORATION |
发明人 |
HONMA, ICHIROU;AISOU, FUMIKI |
| 分类号 |
G01B11/28;G01B11/30;G03F7/20;H01L21/66;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/314 |
主分类号 |
G01B11/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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