| 发明名称 |
ION IMPLANTING DEVICE, ION IMPLANTING METHOD, SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100198235(B1) |
申请公布日期 |
1999.06.15 |
| 申请号 |
KR19960000048 |
申请日期 |
1996.01.04 |
| 申请人 |
MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
HUJI, AHCHHIRO |
| 分类号 |
H01J37/317;H01J27/24;H01J37/08;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 |
主分类号 |
H01J37/317 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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