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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE ISOLATION METHOD
摘要
申请公布号 KR100196423(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19950036191 申请日期 1995.10.19
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 AHN, JOONG-IL;LEE, JAE-KYUNG;PARK, JOON-IL;AHN, EUNG-YONG
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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