发明名称 METHOD OF FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100195846(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19950016998 申请日期 1995.06.23
申请人 NIPPON ELECTRIC K.K. 发明人 HAMADA, MASAYUKI
分类号 H01L21/316;H01L21/318;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8234;H01L27/088;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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