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发明名称 ETCHING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 KR100204793(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19960035333 申请日期 1996.08.24
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 PARK, JIN-HAN
分类号 H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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