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发明名称
METHOD OF MANUFACTURING CONTACT HOLE IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR100197654(B1)
申请公布日期
1999.06.15
申请号
KR19950050496
申请日期
1995.12.15
申请人
HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD
发明人
KIM, JIN-SOO;KWON, KI-SEONG
分类号
H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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