发明名称 METHOD FOR FORMING A CONTACT HOLE OF A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100196226(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19960041581 申请日期 1996.09.23
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 YEON, CHUNG-KYU;CHO, SANG-JOON
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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