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发明名称 RESIST, METHOD OF FORMING A RESIST PATTERN AND MANUFACTURING AN ELECTRONIC PARTS USING THE RESIST
摘要
申请公布号 KR100191858(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19960019028 申请日期 1996.05.31
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 KIHARA, NAOKO;SAITO, SATOSHI;WAKABAYASHI, HIROMITSU;NAKASE, MAKOTO;OBA, MASAYUKI
分类号 G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/00 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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