发明名称 MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100200184(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19960006007 申请日期 1996.03.08
申请人 NEC CORPORATION 发明人 ISHIGAMI, DAKASHI
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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