发明名称 GAS INJECTOR
摘要
申请公布号 KR200149908(Y1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19960020771U 申请日期 1996.07.13
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, SANG-CHEON
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
地址