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发明名称 SPIN-COATING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100196979(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19950021976 申请日期 1995.07.25
申请人 NIPPON ELECTRIC K.K. 发明人 HOJO, MASAAKI
分类号 H01J9/20;(IPC1-7):H01J9/20 主分类号 H01J9/20
代理机构 代理人
主权项
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