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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR FABRICATING APPARATUS
摘要
申请公布号
KR200147009(Y1)
申请公布日期
1999.06.15
申请号
KR19960005018U
申请日期
1996.03.16
申请人
HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD
发明人
CHUNG, NAM-KUN;LEE, CHUL-KYU
分类号
H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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