| 发明名称 |
MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100200488(B1) |
申请公布日期 |
1999.06.15 |
| 申请号 |
KR19960045702 |
申请日期 |
1996.10.14 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. |
发明人 |
OH, HI-SUN |
| 分类号 |
H01L23/52;H01L21/02;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/28 |
主分类号 |
H01L23/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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