| 发明名称 |
WET ETCHING METHOD AND COMPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100201194(B1) |
申请公布日期 |
1999.06.15 |
| 申请号 |
KR19910003727 |
申请日期 |
1991.03.08 |
| 申请人 |
BP AMOCO CORPORATION |
发明人 |
FJARE, DOUGLAS E.;BEUHLER, ALLYSON J.;NAVAR. CYNTHIA A. |
| 分类号 |
G03F7/40;C08J7/12;C09K13/00;H01L21/308;H01L21/311;(IPC1-7):G03F7/32 |
主分类号 |
G03F7/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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