发明名称 FERROELECTRIC CAPACITOR OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR100200753(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19960052170 申请日期 1996.11.05
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 KIM, JIN-WON
分类号 H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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