发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR100198618(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19950046366 申请日期 1995.12.04
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 LEE, CHANG-JAE
分类号 H01L21/08;(IPC1-7):H01L21/08 主分类号 H01L21/08
代理机构 代理人
主权项
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