发明名称 METHOD OF FORMING CIRCUMFERENCE FILM IN A WAFER
摘要
申请公布号 KR100198606(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19910015861 申请日期 1991.09.11
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 KANG, HUI-SUN
分类号 H01L21/784;(IPC1-7):H01L21/784 主分类号 H01L21/784
代理机构 代理人
主权项
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