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发明名称 METHOD OF FORMING AN ELEMENT ISOLATION INSULATING FILM OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100197661(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19960017355 申请日期 1996.05.22
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 PARK, CHANG-SO;LEE, WAN-KI
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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