发明名称 METHOD OF MANUFACTURING GAAS HEMT DEVICE
摘要
申请公布号 KR100204579(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19960053212 申请日期 1996.11.11
申请人 KOREA ELECTRONICS & TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE 发明人 KIM, HAE-CHUN;YOON, KWANG-JUN;MUN, JAE-KYUNG;LEE, JAE-JIN
分类号 H01L21/335;(IPC1-7):H01L21/335 主分类号 H01L21/335
代理机构 代理人
主权项
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