发明名称 |
METHOD FOR COATING SUBSTRATES WITH SILICON BASED COMPOUNDS |
摘要 |
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申请公布号 |
KR100199663(B1) |
申请公布日期 |
1999.06.15 |
申请号 |
KR19920071089 |
申请日期 |
1992.05.07 |
申请人 |
THE BOC GROUP, INC. |
发明人 |
JESSE D. WOLFE;CAROLYNN BOEHMLER;JAMES J. HOFMANN |
分类号 |
C23C14/10;C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/04 |
主分类号 |
C23C14/10 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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