发明名称 METHOD FOR COATING SUBSTRATES WITH SILICON BASED COMPOUNDS
摘要
申请公布号 KR100199663(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19920071089 申请日期 1992.05.07
申请人 THE BOC GROUP, INC. 发明人 JESSE D. WOLFE;CAROLYNN BOEHMLER;JAMES J. HOFMANN
分类号 C23C14/10;C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/04 主分类号 C23C14/10
代理机构 代理人
主权项
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