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发明名称 ISOLATION METHOD MIXING FORMING FIELD OXIDE FILM AND FORMING TRENCH
摘要
申请公布号 KR100199007(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19960021611 申请日期 1996.06.14
申请人 KOREA ELECTRONICS & TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE 发明人 LEE, JONG-HO;KIM, JONG-SIK;SEO, KWANG-SEOK;YU, JONG-SEON;KIM, BO-WOO
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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