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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS FABRICATION METHOD
摘要
申请公布号 KR100200222(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19950008820 申请日期 1995.04.14
申请人 MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 MAEDA, SIGENOBO;INOUE, YASEUNO;KURIYAMA, HIROTATA;MAGAWA, SIGETO;GANAMOTO, KYOJO;IWAMASSEU, DOSIAKI
分类号 H01L27/10;H01L21/77;H01L21/8242;H01L21/84;H01L27/06;H01L27/108;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L27/108 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人
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