发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100197766(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19960003130 申请日期 1996.02.09
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 TOMITA, KENICHI
分类号 H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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