发明名称 COPPER REMOVER AND METHOD FOR REMOVING COPPER USING SAME
摘要
申请公布号 JPH11158659(A) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 JP19970333156 申请日期 1997.12.03
申请人 ELECTROPLATING ENG OF JAPAN CO 发明人 SHODA TOSHIAKI
分类号 C25D3/38;C23F1/18;H01L23/50;(IPC1-7):C23F1/18 主分类号 C25D3/38
代理机构 代理人
主权项
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