发明名称 NORMAL PRESSURE CHEMICAL VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 KR200149910(Y1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19960020388U 申请日期 1996.07.10
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 MO, JONG-KYU
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址