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发明名称 HEAT TREATMENT APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100195807(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19960040937 申请日期 1996.09.19
申请人 KIM, YOUNG-YOOL 发明人 KIM, YOUNG-YOOL
分类号 H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/322 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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