发明名称 METHOD FOR FORMING FINE RESIST PATTERN
摘要
申请公布号 KR100192933(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19960024261 申请日期 1996.06.27
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 CHUNG, JAE-CHANG;KIM, HYUNG-KI
分类号 G03F7/26;(IPC1-7):G03F7/20;G03F7/38 主分类号 G03F7/26
代理机构 代理人
主权项
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