发明名称 METHOD FOR FORMING RESIST PATTERN
摘要
申请公布号 KR100192931(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19960023267 申请日期 1996.06.24
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 KIM, JUNG-HO;CHUN, JUN-SUNG;BACK, KI-HO
分类号 G03F7/36;(IPC1-7):G03F7/36 主分类号 G03F7/36
代理机构 代理人
主权项
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