| 发明名称 |
METHOD FOR REMOVING DISSOLVED GAS FROM A LIQUID |
| 摘要 |
본 발명은 화학적 기상 증착 공정에 사용되는 액체(113)로부터 용존 가스 를 제거하는 방법에 관한 것이다. 용기(111)에 담긴 액체(113)에는 가압된 가스(124)가 인가된다. 액체에 용존되어 있는 가압 가스는 기체 제거 모듈(115)에서 상기 액체를 압력차의 영향을 받는 가스 투과성 관(120)을 통해 통과시킴으로써 제거된다. 그후 액체는 액체 질량 유량 조절기(122)에 의해 정밀하게 계량되어 분배된다. |
| 申请公布号 |
KR100194166(B1) |
申请公布日期 |
1999.06.15 |
| 申请号 |
KR19980012516 |
申请日期 |
1998.04.09 |
| 申请人 |
null, null |
发明人 |
바트 제이. 밴 슈라벤디크;크리스토퍼 더블유. 버크하트;티토 에이치. 산티아고;챨스 이. 포머로이;제프리 더블유. 린드 |
| 分类号 |
B01D19/00;C23C16/44;C23C16/448;C30B25/14 |
主分类号 |
B01D19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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