| 主权项 |
1.一种用以控制在用于支持一个工作件之阴极台座上之直流电位的装置,包含有:一可调式直流源,其系耦合到该阴极台座;一阴极偏压控制单元,被耦合到该可调式直流源,用以产生一个引起该直流源提供一个特定直流电压的控制讯号,该控制讯号系回应在该工作件与该阴极台座间弧光电位的指标中而被产生。2.依据申请专利范围第1项所述之装置,其中,该弧光电位的指标系为在该阴极台座上之峰对峰电压。3.依据申请专利范围第2项所述之装置,其中,该阴极偏压控制单元包含有:一峰对峰电压侦测器,其系用以产生该交流电压讯号的一个峰对峰値;以及一转换函数产生器,被耦合到该峰对峰侦测器,用以回应该峰对峰値而产生该控制讯号。4.依据申请专利范围第3项所述之装置,其中,更包含有一个射频探针,其系被耦合到阴极台座,用以产生该交流电压讯号。5.依据申请专利范围第3项所述之装置,其中,该转换函数产生器产生该控制讯号为1.43(Vpp/2)-505,其中Vpp是该峰对峰値。6.依据申请专利范围第3项所述之装置,其中,该峰对峰侦测器更包含有:产生一正峰値电压之一正峰値侦测器;产生一负峰値电压之一负峰値侦测器;以及一差动放大器,其系耦合到该正峰値侦测器以及该负峰値侦测器,用以产生该峰对峰値。7.一种用以控制在用于支持一个工作件之阴极台座上之直流电位的装置,包含有:一可调式直流电源供应器,其系被耦合到阴极台座,用以影响一个控制电压施加一个直流电压给该阴极台座;一射频探针,其系耦合到该阴极台座,用以产生一个交流电压讯号;一正峰値侦测器,其系被耦合到该射频探针,用以产生一正峰値电压;一负峰値侦测器,其系被耦合到该射频探针,用以产生一负峰値电压;一差动放大器,其系被耦合到该正峰値侦测器以及该负峰値侦测器,用以产生该交流电压讯号的峰对峰値;以及一转换函数产生器,其系被耦合到该差动放大器,用以在回应该峰对峰値而产生该控制讯号。8.依据申请专利范围第7项所述之装置,其中,该转换函数产生器产生该控制讯号为1.43(Vpp/2)-505,其中,Vpp是该峰对峰値。9.一种控制在用于支持一个工作件之阴极台座上的直流电位之方法,包含的步骤有:侦测在该工作件与台座间发生电弧的一个指标;回应该电弧发生指标产生一个具有降低电弧发生可能性的大小的直流电压;以及施加该直流电压给该阴极台座。10.依据申请专利范围第9项所述之方法,其中,该电弧发生指标是在该阴极台座上之一个峰对峰电压。11.依据申请专利范围第9项所述之方法,其中,该产生步骤更包含有:使用一转换函数处理该峰对峰电压,以产生一控制电压;以及回应该控制电压控制该直流电压的大小。12.依据申请专利范围第9项所述之方法,其中,该直流电压的大小与在该阴极台座上的该峰对峰电压成比例。13.依据申请专利范围第11项所述之方法,其中,该转换函数产生该控制讯号为1.43(Vpp/2)-505,其中,Vpp是峰对峰値。图式简单说明:第一图所示系本发明的简单方块图;第二图所示系第一图的直流偏压控制线路的详细方块图;第三图所示系一被提供给静电盘之抛式电压示意图,被耦合到阴极台座之射频源的大小及一个被供应的直流讯号的大小。 |
