发明名称
摘要
申请公布号 JP2595769(Y2) 申请公布日期 1999.06.02
申请号 JP19930026877U 申请日期 1993.04.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/56;H01L23/28;H01L23/29;H01L23/50;(IPC1-7):H01L23/50 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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