| 发明名称 |
Microporöse gasdurchlässige Elektrode und Verfahren zur Herstellung derselben |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69418174(D1) |
申请公布日期 |
1999.06.02 |
| 申请号 |
DE19946018174 |
申请日期 |
1994.12.23 |
| 申请人 |
VAISALA OY, HELSINKI, FI |
发明人 |
STORMBOM, LARS, SF-01620 VANTAA, FI |
| 分类号 |
C23C14/14;C23C14/22;G01N27/22;H01L21/28;(IPC1-7):C23C14/16;C23C14/24 |
主分类号 |
C23C14/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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