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发明名称 Methode zum Polieren einer Kupferoberfläche oder einer Legierung mit Kupfer als Hauptbestandteil
摘要
申请公布号 DE69414480(T2) 申请公布日期 1999.06.02
申请号 DE19946014480T 申请日期 1994.07.07
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN, NL 发明人 HAISMA, JAN, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL;DE HAAS, PETER WILHELMUS, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL;DE BOER, DIRK KORNELIS GERHARDUS, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL;VAN DEN HOOGENHOF, WALTERUS WILHELMUS, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL;POSTMA, LAMBERTUS, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
分类号 B24B1/00;C09G1/02;C09K3/14;G11B5/127;G11B5/187;G11B5/31;(IPC1-7):C09G1/02 主分类号 B24B1/00
代理机构 代理人
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