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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11150181(A) 申请公布日期 1999.06.02
申请号 JP19970331212 申请日期 1997.11.14
申请人 NEC CORP 发明人 YAOITA AKIHIRO
分类号 H01L21/76;H01L21/265;H01L21/316;H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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