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摘要
申请公布号 JP2900452(B2) 申请公布日期 1999.06.02
申请号 JP19890316211 申请日期 1989.12.05
申请人 SEIKOO EPUSON KK 发明人 YAMAMOTO YOSHINORI
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
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