Programmierbarer Multizonen-Gasinjektor für eine Anlage zur Behandlung von einzelnen Halbleiterscheiben,申请号DE19926027575T-传众专利搜索

发明名称	Programmierbarer Multizonen-Gasinjektor für eine Anlage zur Behandlung von einzelnen Halbleiterscheiben
摘要
申请公布号	DE69227575(T2)	申请公布日期	1999.06.02
申请号	DE19926027575T	申请日期	1992.12.29
申请人	TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS, TEX., US	发明人	MOSLEHI, MEHRDAD M., DALLAS, TX 75248, US;MATTHEWS, ROBERT T., PLANO, TX 75075, US;DAVIS, CECIL J., GREENVILLE, TX 75401, US
分类号	C23C16/44;C23C16/455;C23C16/52;C23F4/00;C30B25/14;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/44	主分类号	C23C16/44
代理机构		代理人
主权项
地址