发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11150267(A) 申请公布日期 1999.06.02
申请号 JP19970314027 申请日期 1997.11.14
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD 发明人 HAGIWARA YOSUKE
分类号 H01L21/76;H01L27/08;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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