发明名称 POLYIMIDE PRECURSOR RESIN COMPOSITION AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11148008(A) 申请公布日期 1999.06.02
申请号 JP19970312012 申请日期 1997.11.13
申请人 HITACHI CHEM CO LTD 发明人 HONDA YOSHIHIKO;TAKIZAWA TOSHIO
分类号 C08K5/13;C08G73/10;C08K5/3445;C08L79/08;H01L21/312;H01L21/768;H01L23/29;H01L23/31;H01L23/522;(IPC1-7):C08L79/08;C08K5/344 主分类号 C08K5/13
代理机构 代理人
主权项
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