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发明名称 Amorpher wasserstoffhaltiger Kohlenstoff
摘要
申请公布号 DE59408155(D1) 申请公布日期 1999.06.02
申请号 DE19945008155 申请日期 1994.02.23
申请人 SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE 发明人 HAMMERSCHMIDT, ALBERT, DR., D-91056 ERLANGEN, DE;MANDEL, THOMAS, D-90439 NUERNBERG, DE
分类号 H01L21/28;H01L21/3105;H01L21/324;H01L29/43;(IPC1-7):H01L21/324;H01L21/310 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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