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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11150184(A) 申请公布日期 1999.06.02
申请号 JP19970318786 申请日期 1997.11.19
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 KITAGAWA KATSUHIKO
分类号 H01L21/28;H01L21/318;H01L21/768;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/824 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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