PROCESSOR AND PROCESSING SYSTEM USING THE SAME,申请号JP19970331208-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	PROCESSOR AND PROCESSING SYSTEM USING THE SAME
摘要
申请公布号	JPH11150071(A)	申请公布日期	1999.06.02
申请号	JP19970331208	申请日期	1997.11.14
申请人	TOKYO ELECTRON LTD	发明人	MATSUSE KIMIHIRO
分类号	H01L21/205;C23C16/54;H01L21/00;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
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