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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH11150238(A) 申请公布日期 1999.06.02
申请号 JP19970331200 申请日期 1997.11.14
申请人 NEC CORP 发明人 YOKOYAMA HIROAKI
分类号 H01L21/8249;H01L21/8222;H01L21/8234;H01L21/8248;H01L27/06;H01L27/088;H01L27/10;(IPC1-7):H01L27/10;H01L21/822;H01L21/824;H01L21/823 主分类号 H01L21/8249
代理机构 代理人
主权项
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